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聚光镜激励电流与分辨率的关系

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2020/05/14

扫描电镜（SEM/EDS）

看到一篇2011年的讨论帖，讲聚光镜电流。

于是我将自己学习的聚光镜电流变化与分辨率之间的关系写下来

由上图可知，调节聚光镜激励电流，αi会随之变化。增大激励，αi会变大，中间像di变小，S1变大，S1/WD也相应变大。S1/WD这个参数称为放大倍率，其越大，则相对应的束斑尺寸则越小，分辨率越高。

同时，增大聚光镜的激励，进入物镜光阑的电流量=中间像的电流*（α0/αi）^2,由于αi变小，进入物镜光阑的电流量减小，束斑电流减小，图像亮度减小，信噪比变差。

因此，调节聚光镜的激励，是一个有关图像分辨率和图像信噪比的矛盾关系，需要辩证的来看。

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