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请教电子束光刻和激光光刻有什么区别？

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 应用方面有什么基本的区别？另外实验室想买一套电子束光刻设备，有什么好的推荐？
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  • asahi42

    第1楼2013/08/23

    激光光刻和电子束光刻因为刻蚀源的波长不一样，光刻胶的敏感度也不一样，精度也不一样。关于电子束曝光系统，FEI的Nova NanoSEM 450上可以配电子束曝光机。

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