减压阀和取样针法对高纯气中氧氮的影响

减压阀和取样针法对高纯气中氧氮的影响

高纯气体或电子气体分析中，通常采用的方式是检测气体中杂质气的含量，100%减去气体中杂质含量的总和得到气体的纯度，氧气和氮气是多数气体分析中的杂质，精确分析氧气和氮气对纯度的影响非常关键。

怎样精确的取到原气体，气体样品不在导入分析仪器时出现失真非常关键。对于高压气体通常用的取样方式及取样工具有减压阀和取样针法，这两种取样方式各有优缺点。

1， 减压阀，从结构看，减压的效果非常好，可以从几十兆帕的压力减压到公斤级，而且减压的稳定性也非常好，对于气体分析中的取样，缺点是有一定的死体积，特别是痕量的氧气和氮气杂质非常难吹扫干净：气体分析离线分析时需要快速的吹扫取样设备和仪器系统，假设按开一次瓶阀再关一次瓶阀，放空余压为一次吹扫，曾做过实验，用减压阀操作100次以后，残留的氧气和氮气还会剩余1ppm以下，耗时大概30小时左右。

2， 取样针阀，从稳压效果看，远远赶不上减压阀，但是从结构看吹扫起来特备容易，同样按开一次瓶阀再关一次瓶阀，放空余压为一次吹扫，曾做过实验，用减压阀操作8次以后，基本吹扫干净，耗时3分钟不到。

综上，对于气体分析，特别是同一台仪器分析不同基体中杂质的含量时，取样针法吹扫的速度远远超过减压阀的速度。