【求助】JEOL的SPOTSIZE

我个人的感觉是这个问题不大好回答，因为对于扫描电子显微镜来说，有两个量是不容易确定的，其中一个就是束斑的大小，另一个就是探针电流的大小，只能在一定程度上做个估算，束斑的大小和SEM的型号，加速电压的大小，工作距离的远近，以及所使用的束流大小都是有关系的，所以目前的数据一般都是基于理论计算所确定的，一般来讲，多数SEM FEG的最小束斑应该在1至2.5nm之间，取决于镜筒设计和发射源等因素，这会影响到SEM的分辨率。很少有厂家肯于公布这件事的，所以楼主只能自己去想办法查相关的文献看怎么计算，然后用法拉第杯和皮安计测一下探针电流，作一个相应的估算了，当然最终的结果不会很准的，另个一个做法就是看分辨率能达到什么样，也可以间接推测一下分辨率了，当然我并不认为知道这个指标对SEM的使用有多大的用处。
要说关系的话，只能比较笼统地说一下，探针电流越大，束斑越大。