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【求助】求救用X-ray测薄膜厚

  • goldfish777
    2007/04/15
  • 私聊

X射线衍射仪(XRD)

  • 希望哪位大虾指导下X-ray测膜厚的原理和操作。。。小弟新手。。。。。急需救命。。。
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  • goldfish777

    第2楼2007/04/15

    我用的是X'pert测reflectivity与omiga的函数关系,强度取lg。周期干涉条纹-kiessig条纹-这个我不太懂,谁有相关资料能共享下呀。。。小弟在此有理了。。

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  • XRD

    第3楼2007/04/16

    测量基体某一个峰的强度,有膜的强度比没膜时的强度肯定低,然后根据衍射角、膜的吸收系数来计算。

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  • slower

    第5楼2007/10/11

    XRD还可以测膜厚?能否讲的详细一点儿,或是提供一些资料。学习学习

    huangjw 发表:测量基体某一个峰的强度,有膜的强度比没膜时的强度肯定低,然后根据衍射角、膜的吸收系数来计算。

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  • liuyuanlhfe

    第6楼2007/10/14

    说详细点吧,用XRD怎么测膜厚?

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  • rubyzsq

    第8楼2007/11/16

    我们的仪器也是X'pert PRO,用reflectivity分析的,原理就不太懂了,两年了,没有人来侧过,我只是拿标样练着玩。

    goldfish777 发表:我用的是X'pert测reflectivity与omiga的函数关系,强度取lg。周期干涉条纹-kiessig条纹-这个我不太懂,谁有相关资料能共享下呀。。。小弟在此有理了。。

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  • goldfish777

    第9楼2007/11/19

    老兄,能问下那里的吗?我东北大学的....
    现在就我自己在做这个...难免时候有点郁闷...

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  • slower

    第10楼2007/11/19

    XRD可以计算吸收系数吗?我倒是知道用吸收系数、透射系数和反射系数计算膜厚,可是不知道XRD可以测这些数据。怎么计算呢?

    huangjw 发表:测量基体某一个峰的强度,有膜的强度比没膜时的强度肯定低,然后根据衍射角、膜的吸收系数来计算。

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  • andrew82chen

    第11楼2007/11/20

    XRD只是理论上可以测膜厚,实际上最好使用其他方法,除非仪器设计之处就考虑了膜厚功能,否则。。。。
    XRD还可以测应力,误差非常大,我以前用Rigaku

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  • greek

    第12楼2008/05/29

    可以用XRD测量薄膜厚度,其基本原理是:利用掠入射X射线穿透深度很小的性质,加上摇摆探测器,根据2nd=k*lamda的干涉原理,可以看见很多的衍射小峰,根据两峰间的角差距可以计算薄膜厚度,或者进行FFT也可以计算薄厚,不过这种方法只适合测量~100nm左右的薄厚,而且精度有限

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