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【讨论】聚光镜消像散

hailanshi

2007/04/16

透射电镜（TEM）

不知大家对聚光镜消像散有没有什么经验可谈啊。今早在调试电镜时突然发现光斑在过焦及欠焦时呈椭圆状，郁闷得很。用stigmator中的condenser消，但实在是不好消啊，用荧光屏中心的小圆看是圆了，但顺时针散开至外圈的大圆时又变成椭圆了，用大圆做参照是圆的了，但会聚至小圆时又变成椭圆了。有没有什么更好的方法啊，痛苦死了。

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glucose02

第1楼2007/04/16

应该不会这样吧。检查一下照明系统的合轴做好了没有，还有聚光镜光栏对中了没有

0

rose802

第2楼2007/04/17

我通常是用最大放大倍数（1.5M)来调圆光斑，此时可能光斑不是标准的圆形，有时会呈三角形，就尽量把三角形调成等边的，然后再还原到需要的放大倍数下，光斑基本上就圆了，这样比在较低的放大倍数下调圆光斑更精确一些。
不知正确与否，还望赐教。

0

hailanshi

第3楼2007/04/17

唉，的确是这样。我做了一下gun alignment，不知合轴还需要做什么步骤？
聚光镜光阑倒是对中了。
glucose02 发表:应该不会这样吧。检查一下照明系统的合轴做好了没有，还有聚光镜光栏对中了没有

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hailanshi

第4楼2007/04/17

不失为一个办法。可以一试！多谢了！
rose802 发表:我通常是用最大放大倍数（1.5M)来调圆光斑，此时可能光斑不是标准的圆形，有时会呈三角形，就尽量把三角形调成等边的，然后再还原到需要的放大倍数下，光斑基本上就圆了，这样比在较低的放大倍数下调圆光斑更精确一些。
不知正确与否，还望赐教。

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magggggg

第5楼2007/04/23

We had similar experiences. In our solution, we re-aligned the axis alignment from Gun tilt/hori.,spot size dependent GH,pivot point(ppx, ppy), to condensor lens for several times. Make sure everything in tha alignment is OK.
hailanshi 发表:不知大家对聚光镜消像散有没有什么经验可谈啊。今早在调试电镜时突然发现光斑在过焦及欠焦时呈椭圆状，郁闷得很。用stigmator中的condenser消，但实在是不好消啊，用荧光屏中心的小圆看是圆了，但顺时针散开至外圈的大圆时又变成椭圆了，用大圆做参照是圆的了，但会聚至小圆时又变成椭圆了。有没有什么更好的方法啊，痛苦死了。

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hailanshi

第6楼2007/04/23

我也做了好几次gun tilt和stigmator里的condensor，再消像散，但还是如故。
magggggg 发表:We had similar experiences. In our solution, we re-aligned the axis alignment from Gun tilt/hori.,spot size dependent GH,pivot point(ppx, ppy), to condensor lens for several times. Make sure everything in tha alignment is OK.

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