imrszl
第8楼2022/09/18
是的,EDS确实没有Ga峰。但是不确定是不是注入后cascade那种方式的损伤,如果是的话一个Ga离子注入就能造成很大区域的损伤,极低剂量的Ga离子注入能谱可能并不能打出来。(BCC结构不致密,感觉蛮可能的?)我发现了在BF-STEM像下这种黑条条的衬度会弱很多,图片质量提升了很多。难怪好多文章里FIB样品都是看的BF-STEM像。我们这里也没有专用的TEM样品加热设备,拿FIB样品封管热处理可以吗?但也怕怕的。有文章还说用Flash Polish,也就是0.1-0.3s的电解抛光可以去除损伤层,但是真的不敢啊,估计一个不小心薄区就再见了= = 看来FIB制备样品也还是会有一些局限性,薄区质量不好看透射太难受了。。。
imrszl
第10楼2022/09/20
这个材料磨样品很容易碎,一般只能磨到70u,凹坑用磷铜轮会裂开,我们这边有没有橡胶轮,只能拿去直接减,695那种比较猛的离子减薄10度6kv能打一天不出洞,实在是没办法才想着用FIB的,哭。。。