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硅片截面SEM测试样品处理

  • Ins_039d2d9b
    2023/02/20
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 麻烦请问一下各位大神，现在是我在硅片上组装二氧化硅微球，上面镀一层膜，我想测这个核壳结构的壳厚度
    目前现在想着测硅片截面，有什么方法处理硅片，可以测得呢？


    之前想的是把做好的硅片切开看横截面，但是截面不平整，看到的截面上核壳结构数量很少，不连续。


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    +关注 私聊

  • 一颗蒲公英

    第1楼2023/03/09

    Ion milling 或者FIB可以帮你尝试打开新世界大门~镀的啥膜？Ion milling应该会是一个不错的方法。

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    +关注 私聊

  • Insm_f3b5e899

    第4楼2023/03/18

    聚焦离子束测试可以联系我，微信号TYXC88899999

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