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扫描电镜(SEM/EDS)
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【原创】INCA软件介绍——由工程师提供
siyatou
2007/05/03
私聊
扫描电镜(SEM/EDS)
INCA软件由数个导航条组成,他们的功能有所不同。
Analyzer-对电镜扫描的区域作能谱分析,SEM扫描的区域即是能谱采集的区域
Point&ID-先采集SEM的SE或BSE图像,根据要求对图象上的点或区域进行能谱采集,得到的成分信息是所选定区域。
Mapping-对图像进行元素面分布或线扫描,得到各元素在空间上的分布,或在一条直线上的变化趋势。
Feature-基于SEM的图象(一般使用BSE),对图象中颗粒的形态、成分进行自动分析,归类,搜索等。
所谓完整版的INCA,包含了WDS,EBSD的软件,但这需要其他硬件的支持。
通常Feature软件是在和SEM联机的EDS系统上同时使用的。它可以对多区域(大区域)、多个样品的颗粒进行形态和成分分析归类。
当然也可以使用已经完成的Mapping做分析,但是会有很多限制:
-要求Mapping采集的数据量比较大(有采集技术率和时间决定),才能得到具有统计
意义的能谱成分结果
-只能对当前Mapping区域内进行分析,数据的数量非常有限;而在联机情况下,可以
通过INCA对样品台的驱动(需要相关SEM硬件支持),实现大面积多样品自动的分析。
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