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[讨论]如何判断样品是否污染？

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 我们是场发射，样品污染的话影响很大。如果判断样品是否污染呢？

    前几天看一个样，怎么也调不清楚。换其它样品却都是好的。这是为什么呢？有没有人碰到过这样的情况？做的时候真空度也很稳定。但是在NF的时候，瞬间SIP-1达到1.3*E-006Pa，不知道是不是说明在看样时已经被打坏了？
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    +关注 私聊

  • wuweifeng214

    第1楼2006/06/06

    这个动东没有说清楚呀 !

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  • hyzsjtu

    第2楼2006/06/06

    没说明清楚吗？

    我想问平时大家怎么判断样品会污染电子枪室的？

    如果样品怎么都调不清楚，是不是说明样品已经污染了电子枪室？

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  • sunnysky

    第3楼2006/06/07

    样品一般不会污染电子枪室,除非样品含有大量无法被离子泵抽除的气体.
    要看电子枪室在打开高压下的真空度,而不能看NF下的真空度.
    样品调不清的话,先用标样调一下,如果没问题的话,肯定是样品的问题或观察条件不对

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