透射电镜（TEM）
田仕家
第1楼2024/03/20
一方面电压高，激发深度更深。再就是名义分辨率会更好～
洪星二锅头
第2楼2024/04/03
这还和束斑有关系，FIB虽然分辨率能达到1nm左右的，但这是极限情况，通常分辨的尺寸都是100nm以上，甚至1μm以上才纳米尺度甚至能区分，而STEM则要小得多，eds本身常规的分辨就是几个nm，效果必然要好于FIB
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