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10 nm的氧化钛该怎么测XRD

  • Ins_6e625b3b
    2024/04/26
    • 私聊

X射线衍射仪（XRD）

  • 很薄的氧化钛（大概可以做1到10nm）想要测XRD，咨询了几个测试机构都说太薄了测不了，但是现在需要测薄膜的晶相和结晶度（哪怕测出来是没有结晶也无所谓，但是需要一个测试结果），想问一下各位大佬这种情况下还有什么测试方法可以用，我看好像GIXRD和拉曼也都需要比较厚的。（PS：搜了一些氧化钛做XRD的文章，也都是很厚的样子，50到200nm的那种）
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    +关注 私聊

  • iangie

    第1楼2024/04/29

    应助达人

    如果基板平整的话，10nm的氧化钛膜是可以做GID的。甚至可以做XRR。
    如果基板不平的话，X射线就无能为力了， 可以考虑微区AFM

0
    +关注 私聊

  • 田仕家

    第2楼2024/04/29

    不妨换一个思路，测拉曼它不香吗～

0
    +关注 私聊

  • m3033883

    第3楼2024/05/03

    应助达人

    你考虑过用透射电镜吗？你的薄膜是在什么材料上面？

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