新手上路
JOE HUI
第1楼2024/09/06
楼主，检测硅烷气中的碳、氧元素可以使用以下几种仪器：1.气相色谱仪：可以将硅烷气中的碳、氧元素分离出来，并进行定量分析。2.元素分析仪：通过燃烧或热分解的方法，将硅烷气中的碳、氧元素转化为二氧化碳和水，然后进行检测和分析。3.红外光谱仪：利用红外光谱技术，对硅烷气中的碳、氧元素进行定性和定量分析。4.质谱仪：可以对硅烷气中的碳、氧元素进行精确的质量分析，从而确定其含量。
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第2楼2024/09/06
检测硅烷气中的碳和氧元素，可以使用傅立叶变换红外光谱仪（FTIR），这种方法可以用于定性和定量分析硅烷气中的碳和氧含量。此外，元素分析仪也可以用于测定硅烷气中的碳和氧元素，特别是当测量要求非常低时
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