【求助】开环扫描闭环扫描什么意思? 各自的优缺点? 区别?

有同样的疑问。

闭环的优点如下：
闭环扫描消除压电陶瓷非线性、爬行、滞后等缺陷，准确地得到X，Y尺寸；而传统扫描器采用压电陶瓷管设计,结果远不如闭环系统的好，1.5%XY线性度和无畸变扫描不可能实现, 还有，传统扫描器只校验0°和90°方向，其它方向扫描误差更大。
闭环扫描可容易准确地控制扫描过程中的平移、缩放，旋转,快速，一次到位，节省了定位时间，在最快时间内得到想要的AFM结果。
闭环扫描可以保证在XY扫描器使用过程中无需校验和重新标定，而传统扫描器因其老化产生的X、Y尺寸缩小及变形情况要定期标定，此过程冗长且难掌握，且最终结果远不如闭环系统的好。

哦， 知道了，多谢！

闭环有这么多优点，但是能不能更进一步解释一下，闭环扫描是怎么实现的呢？知道了他的实现机制，才能让人更加信服他的优势。

学习了。。

学习了，不错。

开环和闭环仪器上怎么来选择？
不懂问问
谢谢

真长见识!!
闭环扫描有什么具体的实例或者文献吗?

电容式的传感器不及新的电感式的传感器。其线性度更好，受热影响更小！目前也就美国Asylum Research公司商业化原子力显微镜上配置了。