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【求助】S－3000N的beam current1 不能小于70的原因？

wangzhan

2007/09/02

扫描电镜（SEM/EDS）

我用的是日立S－3000N的SEM，前几天发现图像变得不清晰了，以前1－2万倍都不错的，现在4、5千倍都不行了。后来发现beam current1 在70左右，稍微调小一点就没有信号了，物镜光镧全部退出来也不行。请教各位有没有知道如何解决的？不胜感谢！

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semuser

第1楼2007/09/05

物镜光镧全部退出来也不行,肯定电子束歪了，先调电子枪对中吧

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