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7500F样品台初始化过不去,什么原因,如何处理

pych1

2012/04/22

扫描电镜（SEM/EDS）

可能就是X轴过不去,但电机转动,就是归不了0 急如何解决呀谢谢

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小M

第1楼2012/04/24

应助达人

归不了零，是在0附近呢，还是在某个数值不变？

是否可以手动调节？如果可以，试试

原来曾经出现过这样的情况，home stage时，X、Y没有归零，反而都跑到了25左右去了，然后机械旋转调回来就行了

0

pych1

第2楼2012/04/25

小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:归不了零，是在0附近呢，还是在某个数值不变？

是否可以手动调节？如果可以，试试

原来曾经出现过这样的情况，home stage时，X、Y没有归零，反而都跑到了25左右去了，然后机械旋转调回来就行了

0

pych1

第3楼2012/04/25

机械旋转调了,还是不行,是否是电机的问题,还是连接问题?

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小M

第4楼2012/04/25

应助达人

不行，是调不动，还是无法归零？
pych1(pych1) 发表:机械旋转调了,还是不行,是否是电机的问题,还是连接问题?

0

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