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【求助】求助关于FTPL和FTIR测硅中的硼磷

红外光谱（IR）

  • ASTM标准里面关于测量超纯硅中硼磷含量，采用FTPL和FTIR方法，可以达到若干PPT的检测限。
    以前总觉得FTIR的检测限不是太高，很困惑啊。
    哪位大侠可以详细介绍一下FTPL和FTIR如何测硅中的硼磷？具体采用什么仪器？
    谢谢！！！
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    +关注 私聊

  • lqww8284

    第1楼2007/09/11

    你们是做什么行业的？为什么也要测硅片中的硼、磷？

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    +关注 私聊

  • lqww8284

    第2楼2007/09/11

    如果是同行业的话可以和我联系一下，我目前也负责一个用低温红外测单晶硅片中B、P的项目，大家可以一起交流一下，目前这个项目过来做的比较少，在一些网站和文献上也很难找到类似的资料。
    我的QQ：187364578

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    +关注 私聊

  • stcaptain

    第3楼2008/07/29

    我也很需要这方面的资料啊

0
    +关注 私聊

  • 751270466

    第4楼2008/08/28

    急需此类资料啊

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