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【讨论】液下DFM测试进针小结一（SPI3800N,SPA400)

yujt22

2007/09/16

扫描探针显微镜SPM/AFM

清水中液下DFM测试进针总结
（DF20型探针）
一样品
1 材料为常规载玻片；
2 玻片尺寸：厚度1MM，长宽应尽量充满液池；
3 液量：1～1.2毫升；
4 玻片不用预先浸泡

二粗调进针
进针直到观察窗顶部浸入水中，但要小心，探针与被测表面要保持一定距离，不可接触以免损坏探针。

三激光点调整
1 ADD值为2.1~2.4之间；
2 激光点应位于距微悬臂根部附近，如微悬臂总长为L，光点与距微悬臂根部距离约为1／5 L（此位置偏离时，即使ADD值满足也可能会影响Q－CURVE测定）
3 DFM ,FFM： 0.5~1；±１；

四 Q－CURVE测定
1 初选参数
（1）频率高低限设置：1，999
（2）Gain: 9.998
（3）Vib.voltage: 1
（4）高低通截止频率：5, 50 (LPF, HPF)
（5）选Auto set
（6）time: 2
（7）选Left
（8）选Auto alc.
（9）Configuration中参数：Amplitude: 0.5 , Frequency: 10
2 点击Start 开始测定
（1）计算后，正常值范围为：频率：300～400； Q值：80～200；Amplitude：0.5～0.6（必须大于0.5）；△F：2.5~4.5；vib.voltage：0.5～2（不能大于2）
（2）如Q值偏低或数据无效，则去掉上述四.1.(5)中Auto set 选项，调整频率高低限设置，重新计算测定；
（3）上述调试后，如 Q值仍偏低，则需要重调激光点位置，同时满足ADD值足够大后（不小于2.1）再测。

五 approach 进针
1 进针方式：一般情况下，Auto进针不行，应选move in area 方式；
2 Amplitude.Ref：－0.15～－0.45均可；
3 I Gain: 0.5 , P Gain: 0.1 ,（值太小会影响进针）；
4 A/S Gain: 0 ；
六 MONITOR
1 首先将I Gain／ P Gain降为接近0；
2 增大A/S Gain: 10／20；
3 Scan speed: 0.5（太高会振荡）；
4 如出现振荡，则需等其消失后方可加大I Gain／ P Gain；
5 正常时，I Gain／ P Gain：0.2/0.05

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