扫描电镜（SEM/EDS）
jeolzxj
第1楼2007/09/18
离子枪的分辨率相对较低,所以一般是用离子束切,在场发射电镜下看,双束的就最好了.
suntht
第2楼2007/09/19
用FIB切割铝纳米线，结果切面融化了，什么都观察不到了。
第3楼2007/09/19
用的束流太大了?你用的多少?
第4楼2007/09/20
一共有9种粒子束，beam01--beam09，我用的是beam05。
第5楼2007/09/21
逐渐减小试试啊
vivianysm
第6楼2007/09/21
不要钱的资料要多多的下载啊~~呵呵
第7楼2007/09/21
谢谢jeolzxj，我减小电流试试。是不是从beam01到beam09，电流增大，聚焦度降低？对了，看到你上传的一幅图，非常漂亮，能不能发个简单的制作过程？
第8楼2007/09/23
电流越小,图象的信噪比就要差些.我的图是用FEI的Nova200自动切的,你的FB-2000A我不太了解.
wbslandy
第9楼2007/09/24
切割前你是镀钨还是镀铬的啊?
第10楼2007/09/24
一般是Pt的,也有用钨的.
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