您还有0次抽奖机会
锤子
光刻投影组件、用于处理基底的处理装置和处理基底的方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/22 16:57:41
- 文件大小：2364K
- 下载次数：0
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
本发明涉及一种光刻投影组件,包括：至少两个装载锁闭装置,用于在第一环境与第二环境之间传送基底,第二环境具有比第一环境更低的压力；基底处理器包括：主要处于第二环境的处理室；光刻投影装置,包括投影室。处理室和投影室通过装载位置和卸载位置相通,一方面,装载位置用于将基底从处理室引入投影室,另一方面,卸载位置用于将基底从投影室移到处理室。处理室设有：预处理装置,用于预处理基底；和传输装置,适于将基底从装载锁闭装置传送到预处理装置并且从预处理装置传送到装载位置,也可以将基底从卸载位置传送到装载锁闭装置。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
下载该资料的还下载了
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。