半导体制造解决方案

2019/07/31   下载量： 1 次

方案摘要

方案下载
应用领域 半导体
检测样本 其他
检测项目
参考标准 无

高性能电动汽车等高新技术领域对高效动力转换的需求与日俱增，在这些领域高效动力转换必不可少。SiC 和 GaN 材料的使用降低了能耗。牛津仪器通过原子层沉积（ALD）技术、等离子体辅助蚀刻和沉积技术优化了工艺，提高了器件的能效。

方案下载
配置单
方案详情

Power Semiconductors 制造解决方案

高性能电动汽车等高新技术领域对高效动力转换的需求与日俱增，在这些领域高效动力转换必不可少。SiC 和 GaN 材料的使用降低了能耗。牛津仪器通过原子层沉积（ALD）技术、等离子体辅助蚀刻和沉积技术优化了工艺，提高了器件的能效。ALD 工艺通过出色的钝化减少了 GaN/AlGaN 器件中的阈值电压漂移。

通过牛津仪器 GaN 和 SiC 蚀刻工艺完成的侧壁质量优良、损伤很小、性能优越。



半导体激光器制造解决方案

高性能电动汽车等高新技术领域对高效动力转换的需求与日俱增，在这些领域高效动力转换必不可少。SiC 和 GaN 材料的使用降低了能耗。牛津仪器通过原子层沉积 (ALD) 技术、等离子体辅助蚀刻和沉积技术优化了工艺，提高了器件的能效。 ALD 工艺通过出色的钝化减少了GaN/AlGaN 器件中的阈值电压漂移。

牛津仪器 GaN 和 SiC 蚀刻工艺完成的侧壁质量优良、损伤很小、性能优越。

激光器应用广泛，包括提升通信速度、通过 LiDAR 实现自动驾驶等。长期以来，牛津仪器一直从事激光二极管 III-V 材料的工艺研发，例如：AIGaN 和 InP 等材料。无论何种材料，最终的过程控制都至关重要。



上一篇 一文了解 EDS 能谱技术发展历程
下一篇 材料成分和结构

文献贡献者

牛津仪器科技（上海）有限公司
白金会员 丨 第23年
查看全部资料
相关仪器 更多
相关方案
更多

相关产品

当前位置： 牛津仪器 方案 半导体制造解决方案

关注

拨打电话

留言咨询