牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备_价格-牛津仪器科技（上海）有限公司

牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备

参考价：¥80万 - 100万

型号：

PlasmaPro100 Estrelas

产地：

英国

品牌：

牛津仪器

评分：

产品详情

PlasmaPro 100 Estrelas 平台旨在提供深硅蚀刻（DSiE）领域的全方位的灵活性以满足微电子机械系统（MEMS）、先进封装以及纳米技术市场的各种工艺要求。考虑到研究和生产的市场发展，PlasmaPro 100 Estrelas 提供了工艺灵活性。

光滑侧壁工艺
高刻蚀速率腔刻蚀
高深宽比工艺
锥形通孔刻蚀
广泛的应用领域
机械或静电压盘
加热内衬
改善重复性
延长了两次清洗间的平均时间间隔（MTBC）

PlasmaPro 100 Estrelas平台旨在确保覆盖MEMS，先进封装和纳米技术的广泛应用，从光滑侧壁工艺到高刻蚀速率腔刻蚀、高深宽比工艺和锥形通孔刻蚀，不需要更换腔室硬件就可以实现。

硬件设计使同一腔室中可进行Bosch™和超低温刻蚀工艺，使得纳米和微米结构刻蚀均可实现
兼容50mm至200mm的衬底 - 确保您只需一台系统，便具备从研发器件到量产的能力
自动匹配 - 拥有工艺灵活性
更高流量的质量流量计以及等离子发生器 - 自由基密度更高
减小的腔体尺寸和高效率的泵 - 确保气体高速流通
快速近距离耦合质量流量计 - 快速控制（初始为ALD而开发）

牛津仪器科技（上海）有限公司为您提供牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备，牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas产地为英国，属于其他，除了牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统、牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra刻蚀和沉积设备、牛津仪器PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统,牛津仪器客服电话400-860-2711，售前、售后均可联系。

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