椭偏光谱仪在TiO2薄膜及多层增透膜中的应用

2004/08/02   下载量： 525 次

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应用领域 其他
检测样本 薄膜材料
检测项目
参考标准 无

采用UVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪对TiO2 Thin Films and Multilayer Antireflective Coatings样品进行分析,研究其膜层厚度和相应光学性质。

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文献贡献者

HORIBA（中国）
白金会员 丨 第22年
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