使用椭圆偏振光谱仪表征封装应用中的势垒层

2016/09/21   下载量: 7

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应用领域 半导体
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The UVISEL FUV combines high-speed acquisition, high accuracy and versatility with a straightforward recipe mode for automated tasks. This powerful combination allows the UVISEL spectroscopic ellipsometer to be used for monitoring the production of barrier coatings for packaging applications in real time.

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The UVISEL FUV combines high-speed acquisition, high accuracy and versatility with a straightforward recipe mode for automated tasks. This powerful combination allows the UVISEL spectroscopic ellipsometer to be used for monitoring the production of barrier coatings for packaging applications in real time.


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文献贡献者

HORIBA(中国)
白金会员第22年
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