元素分析+多晶硅+碳定量分析

2024/09/14   下载量： 0 次

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应用领域 材料
检测样本 半导体材料
检测项目
参考标准 /

MIA-Step 在室温至 1000℃ 的范围内进行精确加热控制。通过灵活调整用于分析的载气种类，仪器模式能切换成燃烧或加热，从而实现对样品中碳酸盐、CO₂ 以及游离态碳的单独分析。

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多晶硅是硅片的原材料，其碳含量对硅片的导电性能影响巨大。随着高纯度硅片的广泛应用，准确了解多晶硅中的碳含量并对其进行精确控制变得至关重要。然而，碳在这些材料中可能以多种形态存在，如以碳酸盐形式或以 CO₂ 形式附着，这种复杂性使得在极低浓度下分析碳含量并区分其具体存在形式变得异常困难。


使用 EMIA Step 碳/硫分析仪，将样品在氧气气氛中加热，并通过红外检测器，定量分析样品在加热过程中释放出的碳元素，这些碳元素此时通常以 CO 和 CO₂ 形式存在。然而在燃烧反应中，碳、碳酸盐以及 CO₂，都会被计入总碳含量的结果中，这种方法将导致碳元素在样品中的具体形态难以被精确区分（如游离态碳与碳酸盐中的碳）。

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文献贡献者

HORIBA（中国）
白金会员 丨 第22年
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