日立 FT9300系列 X射线荧光镀层厚度测量仪

概要：

高速X射线管球的搭载，实现了高精度的测定。而且配合极微小准直器和光学变焦镜头可以实现极微小部分的测定。更可以对有高低平面差异的样品进行测定。

技术参数：

可测量元素：原子序数22(Ti)～83(Bi)
X射线源：小型空气冷却型高功率X射线管球(Mo靶)
                  管电压： 50kV 管电流： 1.5mA Be 窗
滤波器：一次滤波器：Mo 二次滤波器：Co (自动切换)
照射方式：上方垂直照射方式

检测器：比例计数管
准直器：方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm 
                 圆形：Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm

安全性能：样品室门自锁功能、样品防冲撞功能、自动诊断功能

样品图像对焦方式：激光自动对焦

样品观察：彩色CCD摄像头 倍率光学器 卤素灯照明
样品平台大小及承重：FT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg 
                                           FT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg 
                                           FT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg

重量：FT9300/SFT9350:125kg (不含电脑) 
             FT9355:130kg(不含电脑)
修正功能：底材修正、已知样品修正、人工输入修正
测量报告书制作：配备MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自动制作测量报告书)  测量能谱与样品图像保存功能

特点：

1. 75W高功率X射线管
　能够提高X射线的生产效率，实现高精度的测量，有效缩短测量时间，只需过去的1/4

2. 超微小型准直器
　除了搭载了标准配置的50μm准直器，还配备了测量微小部位用的15μm准直器
　对应所选择准直器的实际X射线光束照射的尺寸，可以显示在样品画面上

3. 倍率式光学系
     可以准确地对微小部分进行对焦，还可以对应各测量点间有高低的样品

4. 实现了高精度自动X-Y-Z样品台与图像处理软件的高速自动测量

5. 拥有防冲功能

6. 搭载高精度样品平台，更可测量大型线路板(FT9355)

7. 自动对焦功能
    配备激光自动对焦功能，能够准确对焦，提高测量效率。

8. 即时生成测量报告的便捷性
    运用搭载的Microsoft Word® Excel® 可以简单轻松得到制作报告。

9. 搭载了高功率X射线管

10. 拥有自动测量软件以及中心搜索软件

11. 搭载了薄膜FP法软件、图像处理软件以及块体FP法软件，可实现高精度几高效率的微小样品检测最小样品尺寸直径3.5um

2.容易决定微小测量部位

3.影像对焦系统

4.凹凸样品的凹下部位的测量

5.再现性佳