日立 FT9500系列 X射线荧光镀层厚度测量仪_价格-日立仪器（上海）有限公司

核心参数

产地类别：进口

创新点

在所有XRF测厚仪厂商中率先使用了高灵敏度、高分辨率的SDD检测器（精工纳米自主研发的Vortex检测器），和X射线聚焦导管技术。不仅克服了传统半导体检测器灵敏度不足的缺点，使得检测效率大大提高，并且可以轻松测量纳米级厚度的超薄镀层。 0.1mm聚焦导管的使用可以在同样面积的情况下获得传统准直器方式数十倍以上的X射线强度，相当于用50W射线管产生500W射线管的强度。可以充分发挥Vortex检测器的优势。理论上SFT可以检测到0.5nm的镀金层厚度。 SFT9500在RoHS有害元素检测中同样可以发挥其独特的优势，特别是细小镀层样品（例如半导体、电子元器件管脚）镀层所含有的有害重金属元素。使得难以分开的镀层有害元素分析成为可能。结合图形软件进行扫描绘图，可以描绘出各种元素的分布情况，轻易找到各种元素所处的位置，判断有害元素所处的部位。

产品详情

仪器简介：

X射线发生系统为X射线聚焦光学系统（聚焦导管）与X射线源相结合，并且可以照射出实际照射直径为0.1mmΦ以下高强度的X射线束。为此，可以对以往X射线荧光镀层厚度测量仪由于照射强度不足而无法得到理想精度的导线架、插接头、柔性线路板等微小部件及薄膜进行测量。同时搭载高计数率、高分辨率的半导体检测器，在测量镀层厚度的同时，也能对RoHS、ELV、中国版RoHS等法规所管制的有害物质进行分析测量。

技术参数：

型号	FT9500	FT9550	FT9500L
测量元素	Al（13）～Bi（83）
X射线源	管电压：50（可变更）kV 管电流： 10～1000 μA
检测器	半导体检测器（无需液氮）
X射线聚光	聚光导管方式
样品观察	CCD摄像头（带变焦功能）
对焦	激光对焦
滤波器	一次滤波器：3个位置（自动切换）
样品区域	X:240mm, Y:175mm X:220mm, Y:150mm, Z:150mm	X:420mm, Y:330mm X:400mm, Y:300mm, Z:50mm	X:840mm, Y:540mm X:400mm, Y:300mm, Z:50mm
测量软件	薄膜FP法（最大5层、10种元素）、检量线法、块体FP法（材料组成分析）
安全功能	样品门联锁

1. 薄膜及多层膜测量

通过采用新型的毛细管（X射线聚光系统）和X射线源，把与以往机型FT9500同等强度的X射线聚集在30 μmΦ的极微小范围。因此，不会改变测量精度即可测量几十微米等级的微小范围。
同时，也可对几十纳米等级的Au/Pd/Ni/Cu多镀层的各层膜厚进行高精度测量。

2. 异物分析

通过高能量微小光束和高计数率检测器的组合，可进行微小异物的定性分析。利用CCD摄像头选定样品的异物部分并照射X射线，通过与正常部分的能谱差进行异物的定性分析（Al～U）。

3. 数据编辑功能

配备了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配备了统计处理软件，可以进行测量数据、平均值、最大/最小值、C.V.值、Cpk等的统计处理。另外，通过Microsoft Word可以简单的制作包含了样品画图的测量报告书。

4. 高强度照射

通过高强度照射在微小部分也可以鲜明的观察、聚焦位置。

5. 样品工作台

配备等同与FT9550X的大型样品台，能够对大型线路板等样品进行整体排列测量对应。

日立仪器（上海）有限公司为您提供日立 FT9500系列 X射线荧光镀层厚度测量仪，日立FT9500系列产地为日本，属于进口X射线荧光测厚仪，除了日立 FT9500系列 X射线荧光镀层厚度测量仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供日立 FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪、EA6000VX能量色散型X射线荧光分析仪、日立 FT9200系列 X射线荧光镀层厚度测量仪,日立仪器客服电话，售前、售后均可联系。

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型号：	FT9500系列
产地：	日本
品牌：	日立
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