使用FT150测量片式元器件电极膜厚

2016/07/05   下载量： 5 次

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应用领域 电子/电气
检测样本
检测项目
参考标准 GB/T16921-2005

智能手机或车载电脑等使用的片式元器件，由于产品的小型化和多功能化，更加追求高密度的安装，部件本身也变得越来越小。它们中电极部分使用Sn和Ni双层膜的情况较多，因此对其膜厚管理的追求也越高。FT150系列配备了新型聚光光学系以及升级后的Vortex?检测器，可实现对今后越来越小型化片式元器件的电极部膜厚的高精确度Ni/Sn的同时测量。此份资料中，介绍了使用FT150对陶瓷片式元器件冷凝器的Ni/Sn层进行膜厚测量，之后更进一步确认对样品断面研磨后的电极部膜厚案例

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文献贡献者

日立仪器（上海）有限公司
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