型号: | 10-M/NS-5 |
产地: | 日本 |
品牌: | |
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离子蚀刻机 10-M/NS-5
上海伯东日本NS进口离子蚀刻机 10-M/NS-5,适合小规模生产使用和实验室研究用的离子刻蚀机。
离子蚀刻机 10-M/NS-5 主要技术参数:
基片尺寸 | 直径 6英寸 X 1片 |
样品台 | 直接冷却,单独冷却 |
离子源 | 10cm 考夫曼离子源 |
电源 | WELL-2000(可更换为国内电源 |
上海伯东是日本NS离子蚀刻机中国总代理,NS离子蚀刻机对磁性材料、黄金、铂和合金金属提供最佳蚀刻技术,很容易做各种材料的蚀刻,主要应用于薄膜磁头 (Thin film Magnetic Head),自旋电子学 (Spintronics),MR Sencer,微电子机械系统 (MEMS Micro-electromechanical Systems),射频设备 (RF Devices),光学组件 (Optical Component),超导电性 (Super Conductivity)等。可依据客户实际需要,提供客制化服务。
NS离子蚀刻机主要优点:
干式制程的微细加工装置,使得在薄膜磁头,半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。
物理蚀刻的特性,无论使用什么材料都可以用来加工,所以各种领域都可以被广泛应用。
配置使用美国考夫曼公司制造的原装离子源。
射频角度可以任意调整,蚀刻可以根据需要做垂直,斜面等等加工形状。
基板直接加装在直接冷却装置上,所以可以在低温环境下蚀刻。
配置公转自转传输机构,使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。
机台设计使用自动化的操作流程,所以可以有非常友好的使用生产过程。
上海伯东主营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源,美国 HVA 真空阀门,Polycold 冷冻机,离子刻蚀机等。
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