型号: | MEL 3100 |
产地: | 日本 |
品牌: | 日本NS |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
全自动离子刻蚀机 MEL 3100
伯东公司日本原装进口全自动离子刻蚀机 MEL 3100, 蚀刻速率 >10(nm/min), 均匀性 ≤±5%, 全自动化系统减少人工操作, 保证产品高稳定性和高质量. 有效减少因人工操作带来的损失!
全自动离子刻蚀机 MEL 3100 特性
全自动化系统
清洁: 钛用于经常暴露于离子束的零件, 以产生低粒子. 晶圆输送盒采用高效空气过滤器.
占地面积小, 方便维护
10.4英寸触摸屏
配置美国 KRI 考夫曼离子源和德国 Pfeiffer 分子泵.
全自动离子刻蚀机 MEL 3100 技术规格.
型号 | MEL 3100 |
样品数量尺寸 | 3”φ-6”φ,1片 |
晶圆输送盒 | 1个, 25 片晶圆 |
极限真空 | 8x10-5 Pa |
均匀性 | ≤±5% |
蚀刻速率 | >10(nm/min) @SiO2 |
Hakuto 日本原装设计制造离子刻蚀机 IBE, 提供微米级刻蚀, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料,黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯东已累计交付约 500套离子蚀刻机. 蚀刻机可配置德国 Pfeiffer 涡轮分子泵和美国 KRI 考夫曼离子源!
伯东公司超过 50年的刻蚀 IBE 市场经验, 拥有庞大的安装基础和经过市场验证的刻蚀技术!
若您需要进一步的了解离子蚀刻机详细信息, 请联络上海伯东叶女士
相关产品
inTEST 热流仪 5G 通讯模块高低温冲击测试
聚丙烯 PP膜等离子表面亲水改性设备
气体和液体过滤介质用低压等离子表面处理设备
微控制器 MCU 芯片高低温测试机,美国 inTEST 热流仪
美国 inTEST 汽车芯片用高低温测试机,热流仪
功率器件高低温冲击测试机,美国 inTEST 热流仪
PMMA 亚克力板等离子表面活化机
IBF 离子束抛光工艺用考夫曼离子源
IBAD 辅助镀膜用考夫曼离子源
LED-DBR 辅助镀膜用离子源
上海伯东美国 KRi 大面积射频离子源 RFICP 380
上海伯东美国 KRi 霍尔离子源 eH 3000
上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 ,霍尔源eH 2000
上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000
KRI 霍尔离子源, 霍尔源,eH 400
关注
拨打电话
留言咨询