型号: | NS-8 |
产地: | 日本 |
品牌: | 日本NS |
评分: |
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离子蚀刻机 20-M / NS-8
上海伯东 NS适合中等规模量产使用的离子刻蚀机
基片尺寸 | 直径 3英寸 X 8片 |
基台 | 直接冷却 |
样品台 | 20cm 考夫曼离子源 |
电源 | 可更换为国内电源 |
伯东离子蚀刻机主要优点:
1. 干式制程的微细加工装置,使得在薄膜磁头,半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。
2. 物理蚀刻的特性,无论使用什么材料都可以用来加工,所以各种领域都可以被广泛应用。
3. 配置使用美国考夫曼公司原装制造的离子源。
4. 射频角度可以任意调整,蚀刻可以根据需要做垂直,斜面等等加工形状。
5. 基板直接加装在直接冷却装置上,所以可以在低温环境下蚀刻。
6. 配置公转自转传输机构,使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。
7. 机台设计使用自动化的操作流程,所以可以有非常友好的使用生产过程。
离子蚀刻机 20-M / NS-8 图片:
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上海伯东 : 罗女士
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