电容真空计真空测量原理介绍
CMR系列真空计参数 由于压力不同,会引起电容两极距离的变化,这会使电容的大小发生变化。这样通过测量这种电容大小的变化,就能得知当前的真空度。直接压强测量; 测量范围由电极膜片厚度不同而不同
介面 | DN 16 ISO-KF |
解析度 | 0.003% 全量程 |
输出信号 | 0.4---+9.8 VDC |
介面温度 | ≤110 ℃ |
最大压力 | 2 bar |
精度 | 0.2% of reading |
重量 | <300 g |
接触材质 | Ceramics(AL2O3),Stainless steel |
测量范围 | 1.1---1.0*10-4mba |
信号线 | 120 m |
操作环境温度 | +5---+50℃ |
储存环境温度 | -40---+65℃ |
供电电压 | 14---30VDC |
功率消耗 | 1W |
CMR36X与2
7X 比较:型号 | 测量范围(mbar) | 型号 | 测量范围(mbar) |
CMR 361 | 1100--1E-1 | CMR 271 | 1100--1E-1 |
CMR 362 | 110—1E-2 | CMR 272 | 110—1E-2 |
CMR 363 | 11—1E-3 | CMR 273 | 11—1E-3 |
CMR 364 | 1.1—1E-4 | CMR 274 | 1.1—1E-4 |
CMR 365 | 0.11—1E-5 | CMR 275 | 0.11—1E-5 |
CMR系列真空计主要特点:
1.没有记忆影响
2. 测量精度不受被测对象的成分影响
3. 无磨损,耐污染
4. 使用热膨胀系数一致的 材 料 ----出色的温度补偿能力
5. 全系列抗腐蚀性气体
6. 0点稳定能力出色
7. 耐空气冲击----无须额 外的保护 阀
CMR系列真空
计应用实例PVA真空冶炼炉;株洲硬质合金;富士
康臻龙粉末烧结炉
离子真空计原理介绍
压强的大小一方面体现为力的大小,另一方面还体现为单位体积内分子数的多少。在高真空条件下,可以通过计量单位体积内分子数的多少,来测知当前的
真空度。电子在相同的电子能量,相同的磁场中,所引起的分子电离电流越大,说明分子数密度越大。离子真空计就是在高真空条件下,通过计量分子电离电流的大小来测得分子数密度,从而测得真空度。
冷阴极离子真空计(Cold cathode ionization vacuum gauge),是通过加在阴阳两极间的高电压(3kv左右),激出电子,同时这个电场又给了电子能量,用具有一定能量的电子去电离空气分子。
热阴极离子真空计(Hot cathode ionization vacuum gauge), 是通过加热阴极,激出电子,再设置一定的电场(100v左右),给电子一定的能量,去电离空气分子。
Pfeiffer离子真空计介绍
项目 | IKR 251 | IKR 261 | IKR 270 | IMR 265 | PBR 260 |
信号范围 | 1.8-8.5 V | 1.8-8.5 V | 1.8-8.5 V | 1.5-9.75 V | 0.774-10 V |
可烘烤温度 | 150 ℃ | 150 ℃ | 250 ℃ | 150 ℃ | 150 ℃ |
最大耐压 | 10 bar | 10 bar | 10 bar | 5 bar | 2 bar |
精度 | ±30% | ±30% | ±30% | - | 15% |
重复精度 | ±5% | ±5% | ±5% | 2% | 5% |
测量范围 | 1E-2—2E-9 mbar | 1E-2—2E-9 mbar | 1E-2—5E-11mbar | 1E3—2E-6 mbar | 1E3—5E-10 mbar |
信号线长度 | 500 m | 500 m | 500 m | 100 m | 100 m |
电源电压 | 15-30 V | 15-30 V | 15-30 V | 20-30 V | 20-28 V |
功率消耗 | 2 W | 2 W | 2 W | 16 W | 16 W |
冷阴极离子真空计特点:
1. 结构简单,可靠耐用
可到超高真空2.性价比高,测量范围
3.耐空气冲击
4.全系列可防腐蚀,有高温烘烤型
热阴极离子真空
计特 点:1. 精度和精密度高
2. 测量范围宽
3. 探头自动保护
4. 全系列可防腐蚀
Pfeiffer离子真空计应用实例
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