HVA 真空阀门应用于E-Beam 镀膜机

伯东公司德国普发真空pfeiffer

2023/05/10 14:29
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某知名品牌 Sputtering + E-Beam PVD 镀膜机系统采用 HVA 真空阀门 11000, HVA 真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.


HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格: 

 阀门材质:

 - 阀门主体

 304 不锈钢

 - 焊接波纹管轴封

 AM - 350

 阀门密封方式

 - 高真空

 氟橡胶

 - 超高真空

 铜垫圈 / 氟橡胶

 真空:

 - 压力范围

 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差压关闭

 1 bar ( 任意位置 )

 - 开启前最大压力

 ≤ 30 mbar

 烘烤温度（不含电磁阀）:

 - 弹性体密封阀盖

 150°C

 - 金属密封阀盖

-开启温度：200°C

-关闭值：150°C

 - 驱动方式

 手动 60 °c, 气动 60 °c

机制

手动：

手摇曲柄

电磁阀供电电压

 120 VAC 50 /60 Hz

电磁阀可选电压

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 电磁阀位置指示器,最大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

气动送风：

80 psig

 使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

 公称通径: DN 16 - 800 mm

  

E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子枪, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.

 

基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为最后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.

 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生  


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