某半导体工厂在生产线上气体输送环节的气体管路系统采用伯东 HVA 不锈钢真空闸阀 11000 ,作为真空隔离密封.
HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:
阀门材质: | |
- 阀门主体 | 304 不锈钢 |
- 焊接波纹管轴封 | AM - 350 |
阀门密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡胶 |
- 超高真空 | 铜垫圈 / 氟橡胶 |
真空: | |
- 压力范围 | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差压关闭 | 1 bar ( 任意位置 ) |
- 开启前最大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度(不含电磁阀): | |
- 弹性体密封阀盖 | 150°C |
- 金属密封阀盖 | -开启温度:200°C -关闭值:150°C |
- 驱动方式 | 手动 60 °c, 气动 60 °c |
机制 | |
手动: | 手摇曲柄 |
电磁阀供电电压 | 120 VAC 50 /60 Hz |
电磁阀可选电压 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
电磁阀位置指示器,最大 | 115 VAC |
气动送风: | 80 psig |
使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) | |
公称通径: DN 16 - 800 mm |
HVA 是真空技术创新者的真空阀门(插板阀), 是高真空阀门的主要制造商和供应商.
在设计真空系统时, 可以轻松集成 HVA 阀门. HVA 闸阀从5/8英寸(16毫米)到32英寸(800毫米), 而矩形/狭缝阀的最大距离为80英寸(2m), 可以满足您的真空阀门(插板阀)要求. 无论您是升级现有的真空系统还是 OEM 设计新的系统, HVA 都可以提供经济高效的替代阀门解决方案.
HVA 真空阀门(插板阀)的阀体和所有主要内部组件都是内部钎焊的真空炉, 消除了虚拟泄漏的可能性, 阀体变形最小化.
40多年来, HVA 一直在建造业内质量最高, 设计最好的真空阀门(插板阀). HVA 代表着质量, 工程, 定制和服务.
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生
德国普发 Pfeiffer 售后维修保养
Pfeiffer 普发分子泵组 HiCube 80 Eco 现货促销
上海伯东代理 Pfeiffer 普发检漏仪维修保养服务
普发Pfeiffer分子泵维修 | 分子泵启动不了或刚一启动就报警,怎么解决
相关产品
inTEST 热流仪 5G 通讯模块高低温冲击测试
聚丙烯 PP膜等离子表面亲水改性设备
气体和液体过滤介质用低压等离子表面处理设备
微控制器 MCU 芯片高低温测试机,美国 inTEST 热流仪
美国 inTEST 汽车芯片用高低温测试机,热流仪
功率器件高低温冲击测试机,美国 inTEST 热流仪
PMMA 亚克力板等离子表面活化机
IBF 离子束抛光工艺用考夫曼离子源
IBAD 辅助镀膜用考夫曼离子源
LED-DBR 辅助镀膜用离子源
上海伯东美国 KRi 大面积射频离子源 RFICP 380
上海伯东美国 KRi 霍尔离子源 eH 3000
上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 ,霍尔源eH 2000
上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000
KRI 霍尔离子源, 霍尔源,eH 400
关注
拨打电话
留言咨询