方案摘要
方案下载应用领域 | 电子/电气 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | / |
MOCVD ( Metal-organic Chemical Vapor Deposition ) 是在气相外延生长 (VPE) 的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术. MOCVD 是以Ⅲ族, Ⅱ族元素的有机化合物和V, Ⅵ 族元素的氢化物等作为晶体生长源材料, 以热分解反应方式在衬底上进行气相外延, 生长各种 Ⅲ-V族, Ⅱ-Ⅵ 族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料. 通常 MOCVD 系统中的晶体生长都是在常压或低压 (10-100Torr) 下通H2的冷壁石英 (不锈钢)反应室中进行, 衬底温度为 500-1200℃, 用直流加热石墨基座 (衬底基片在石墨基座上方), H 2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区.
氦质谱检漏仪 MOCVD 设备检漏
MOCVD ( Metal-organic Chemical Vapor Deposition ) 是在气相外延生长 (VPE) 的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术. MOCVD 是以Ⅲ族, Ⅱ族元素的有机化合物和V, Ⅵ 族元素的氢化物等作为晶体生长源材料, 以热分解反应方式在衬底上进行气相外延, 生长各种 Ⅲ-V族, Ⅱ-Ⅵ 族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料.
通常 MOCVD 系统中的晶体生长都是在常压或低压 (10-100Torr) 下通H2的冷壁石英 (不锈钢)反应室中进行, 衬底温度为 500-1200℃, 用直流加热石墨基座 (衬底基片在石墨基座上方), H 2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区.
MOCVD 设备需要检漏: 因为MOCVD生长使用的源是易燃, 易爆, 毒性很大的物质, 并且要生长多组分, 大面积, 薄层和超薄层异质材料. 因此在MOCVD系统的设计思想上, 必须考虑系统密封性.对于气体的输运系统, 管路和管道的接头等存在泄漏可能的部位需要重点排查, 保证反应系统无泄漏是MOCVD设备组装的关键之一.
上海伯东 MOCVD 设备检漏客户案例一: 某公司通过 MOCVD 生长出来的发光材料, 用于制备 OLED 灯, 经过伯东推荐选用移动式氦质谱检漏仪 ASM 390 + 遥控器, 方便系统检漏操作.
检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 满足半导体行业要求! | |
因为 MOCVD 的腔室都比较大, 焊接点偏多, 我们推荐客户使用适用于远程操作的无线遥控器, 方便用户一个人边喷氦气的同时边检漏操作. |
上海伯东 MOCVD 设备检漏客户案例二: 某大型 LED 生产企业,共计采购24台氦质谱检漏仪 ASM 390 用于 MOCVD 设备检漏.
上海伯东 MOCVD 设备检漏客户案例三: 某 LED 生产企业, 累积采购 6台 ASM 340 用于设备检漏
MOCVD 需要检漏位置: 所有怀疑有漏的地方都需要进行检漏, 主要检漏源供给, 输运和尾气处理系统(例如管路接头、管道、焊缝等位置.
根据客户实际需要,MOCVD 检漏基本配置:氦质谱检漏仪 ASM 340 +干式真空泵 ACP 28 如下图所示:
MOCVD设备检漏方法:采用真空模式检漏
1. 将设备通过波纹软管连接检漏仪 ASM 340,确认连接完毕
2. 启动 ASM 340, 进入待机界面; 初次启动时间大约 3min, 以后启动 < 1min
3. 按下开始键, 先通过 bypass 阀门启动干式真空泵 ACP 28抽真空, 到达一定压力检漏仪 ASM 340开始工作, 同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气; 若有漏, 检漏仪马上报警, 显示该喷射点有漏.
4. 检测完毕, 按下检漏仪待机键, 放气, 关闭电源, 移除连接管路.
结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>
鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解 MOCVD 设备检漏, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生
上海伯东 Europlasma 等离子表面处理设备在医疗器械行业的应用
上海伯东 Europlasma 纳米亲水涂层在氢燃料电池外壳中的应用
上海伯东 Europlasma 低压等离子设备在气体和液体过滤介质中的应用
相关产品
inTEST 热流仪 5G 通讯模块高低温冲击测试
聚丙烯 PP膜等离子表面亲水改性设备
气体和液体过滤介质用低压等离子表面处理设备
微控制器 MCU 芯片高低温测试机,美国 inTEST 热流仪
美国 inTEST 汽车芯片用高低温测试机,热流仪
功率器件高低温冲击测试机,美国 inTEST 热流仪
PMMA 亚克力板等离子表面活化机
IBF 离子束抛光工艺用考夫曼离子源
IBAD 辅助镀膜用考夫曼离子源
LED-DBR 辅助镀膜用离子源
上海伯东美国 KRi 大面积射频离子源 RFICP 380
上海伯东美国 KRi 霍尔离子源 eH 3000
上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 ,霍尔源eH 2000
上海伯东美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000
KRI 霍尔离子源, 霍尔源,eH 400
关注
拨打电话
留言咨询