光学膜厚仪

光学膜厚仪

参考价:面议
型号: PHE
产地: 美国
品牌:
评分:
巨力科技有限公司
银牌会员18年
关注展位 全部仪器
展位推荐 更多
产品详情
仪器简介:

美国光学膜厚仪,广泛应用于各种薄膜、涂层光学常数(n and k)和厚度的精确测量,设备分为在线和离线两种工作模式,操作便捷,几秒钟内即可完成测量和数据分析,USB 连接计算机控制;

薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉,干涉的发生与膜厚及折光系数等有关,因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术,我们的薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。 

应用:
半导体(光刻胶、氧化物和氮化物等),
液晶显示器(ITO, Polyimide, Cell gap),
法医鉴定、生物薄膜和材料;
墨水、矿物、染料、化妆品;
硬质涂层、减反射涂层、滤波涂层;
医药、医疗器件;
光学薄膜、TiO2, SiO2, Ta2O5;
半导体化合物;
功能薄膜(MEMS/MOEMS);
非晶硅、纳米晶硅、晶体硅;



技术参数:


测量范围:20 nm to 50 μm (Thickness only),
                    100 nm to 10 μm (Thickness with n and k) ;

多层测量:Up to 4 layers;

光点大小调节范围:0.8 mm to 1 cm ;

薄膜厚度测量精度:±0.5%;
 
厚度测重复性:0.1nm; 

样品台尺寸:200 mm × 200 mm;



主要特点:

*基片折射率和消光系数测量;

*薄膜厚度测量,平均值和标准偏差分析;

*薄膜折射率和消光系数测量;

*适用于不用材质和厚度的薄膜、涂层和基片;

*测试数据输出和加载;

*直接Patterned或特征机构的试样测试;

*可用于实时在线薄膜厚度、折射率监测;

*波长范围可选;

*系统配备强大的光学常数库和材料数据库,便于测试和数据分析;

巨力科技有限公司为您提供光学膜厚仪PHE,nullPHE产地为美国,属于其它光学测量仪,除了光学膜厚仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供null、null,巨力科技客服电话400-860-5168转1431,售前、售后均可联系。

相关仪器 更多

相关产品

巨力科技有限公司为您提供光学膜厚仪PHE,nullPHE产地为美国,属于其它光学测量仪,除了光学膜厚仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供null、null,巨力科技客服电话400-860-5168转1431,售前、售后均可联系。
Business information
工商信息 信息已认证
当前位置: 巨力科技 仪器 光学膜厚仪

关注

拨打电话

留言咨询