波前曲率传感器

参考价：面议

型号：	EUV/NIR
产地：	德国
品牌：	ProOpto
评分：

核心参数

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高功率激光材料测试仪

光热弱吸收测量仪

EUV/XUV波前传感器

产品详情

主要特点

压电驱动微动平台，装配CCD相机

光束方向快速移动

临近位置光束剖面/形貌分析

波前推导CCD像素级分辨

光束传播参数分析（M2、瑞利长度、束腰直径）

Zernike分析畸变控制

采用自我参考法

无光束相干要求

紧凑式设计，在线检测

操作原理

图片23.png

技术规格

CCD相机USB3.0通讯

空间分辨率<10um

多种传感器覆盖光谱范围：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)

实时波前分析

测试依据ISO标准

光束测试软件

光束测试软件.png

测试基于ISO标准

Parameter	Standard
Beam diameter光束直径	ISO 11146
Divergence	ISO 11146
Beam profile光束剖面	ISO 13694
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性	ISO 11670
M2 质量因子/ Focusability聚焦性	ISO 11146
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布	ISO 15367
Coherence 相干	-
Around 20 various camera types are supported

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