EUV/XUV波前传感器

参考价：面议

型号：	EUV/XUV
产地：	德国
品牌：	ProOpto
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核心参数

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高功率激光材料测试仪

光热弱吸收测量仪

波前曲率传感器

产品详情

主要特点

Hartmann波前传感器（相干和非相干辐射）

紧凑结构

光化性能检测

-EUVL 等离子源

-自由电子激光

-HHG高次谐波束

实时光学调整

单个脉冲重复性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)

图片17.png

技术规格

波长范围：<1nm~60nm（量子转换涂层）

视场：9mmX6.7mm（可选更大尺寸）

动态范围：14Bit

Hartmann 盘：precision pinholes Ø75μm, 250μm pitch

倾角：±10°

XY调节范围：±10mm

UHV兼容：CF63法兰

图片18.png 图片19.png

Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

(below) adjustment of beam line optics (B. Flöter, K.

Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )

图片20.png

Spot pattern @ λ=1.5 nm

(LCLS / Stanford)

图片21.png

Reconstructed intensity profile

光束测试软件

光束测试软件.png

测试基于ISO标准

Parameter	Standard
Beam diameter光束直径	ISO 11146
Divergence	ISO 11146
Beam profile光束剖面	ISO 13694
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性	ISO 11670
M2 质量因子/ Focusability聚焦性	ISO 11146
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布	ISO 15367
Coherence 相干	-
Around 20 various camera types are supported

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