UV光束分析仪

参考价：面议

型号：	UV/VUV
产地：	德国
品牌：	ProOpto
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核心参数

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高功率激光材料测试仪

光热弱吸收测量仪

波前曲率传感器

产品详情

UV激光光束质量分析仪可实现高分辨率实时空间光束的监测、定量表征与强度分布。主要针对准分子激光器设计，用于所有脉冲或连续波激光器以及非相干光源，检测器CCD芯片上量子转换涂层保证了UV检测的高灵敏度。

主要特点

UV光束特性分析

‐ 准分子激光器 @193nm, 248nm, 351nm

‐ 固体激光器 @355nm, 266nm, 213nm

‐ UV LEDs, UV/VUV lamps

宽光谱灵敏度：VUV ‐ DUV ‐ Vis ‐ NIR

实时光学调节

基于ISO光束参数测量

衰减单元（可选）

图片8.png

Homogenized KrF

excimer laser (248nm)

图片9.png

Mask projection of

excimer laser beam

主要技术规格

波长范围~100nm …1100nm

（<~320nm:高线性和稳定性的量子转换涂层；<190nm: N2/ Ar purging required）

视场尺寸：20mmX14mm（其他尺寸可选）

相机：CMOS 4MPixel, 12 Bit, USB3.0

帧率：up to 15fps

曝光时间：20us to 1s

衰减单元：棱镜衰减器（因子1000：1）

中性密度滤片

图片10.png

Near‐field and far‐field

profile of ArF excimer laser

(193nm), indicating 2nd

moment beam widths

图片11.png

Beam profile of

misaligned 355nm laser

图片12.png

Beam Analysis software

光束测试软件

光束测试软件.png

测试基于ISO标准

Parameter	Standard
Beam diameter光束直径	ISO 11146
Divergence	ISO 11146
Beam profile光束剖面	ISO 13694
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性	ISO 11670
M2 质量因子/ Focusability聚焦性	ISO 11146
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布	ISO 15367
Coherence 相干	-
Around 20 various camera types are supported

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