微波等离子体增强化学气相沉积系统

微波等离子体增强化学气相沉积系统

参考价：面议
型号： 150
产地： 其他国家
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巨力科技有限公司
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产品详情

  • 仪器介绍:
    欧洲专业的制造商，拥有20多年丰富的经验在：蒸发设备、溅射设备、等离子体增强化学气相沉积系统PECVD、等离子体刻蚀系统、感应耦合等离子体刻蚀系统、微波打胶机(去胶机)、反应等离子体灰化设备、微波等离子体增强化学气相沉积系统MPECVD等；
    该微波等离子体增强化学气相沉积系统MPECVD系统，主要用于单晶、多晶金刚石薄膜的生长！

    技术参数

  • 1.本底真空< 10-7 Torr
    2.成膜均匀性：± 5%
    3.最大功率密度：80 W/cm3
    4.微波电源：2.45GHZ，6kw （连续或者脉冲）
    5.沉积速率：15 μm/h 

  • 主要特点

  • 1. 控制系统：计算机手动、半自动或者全自动控制；

    2.腔体压力调节；

    3.气体喷淋沉积方式；

    4.可制备单晶、多晶金刚石薄膜，类金刚石薄膜DLC；

  • 主要应用：

     Tribologic coatings
     Optical windows
     Substrates
     Power electronics
     Heat dissipation
     Sensors

巨力科技有限公司为您提供微波等离子体增强化学气相沉积系统150，null150产地为其他国家，属于镀膜机，除了微波等离子体增强化学气相沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多镀膜机,巨力科技客服电话400-860-5168转1431，售前、售后均可联系。

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