资料摘要
资料下载用原子层沉积系统生长（SrTiO3）STO薄膜，在370°C，生长速率0.15 Å/ cycle. The adoption of a thin crystallized seed layer resulted in crystallized perovskite STO films at the as-deposited state without higher temperature post-annealing. A tox of 0.72 nm（dielectric constant of 108）and a low leakage current density（10−7A/cm2 at 0.8 V）were obtained from a planar capacitor structure consisting of Pt/20-nm-thick STO/Ru（bottom）.
OLED及钙钛矿LED器件发射光谱特性测量技术
简介：OLED及钙钛矿LED器件发射光谱特性测量技术，可有效测量发光效率EQE测量，Lm/W 和 Cd/A，发射角度测量，光谱&颜色测量@发射角；CIE xyY测量，视角测量，IVL(电流—电压—亮度)测量，PL光致发光和EL电致发光测量， 分子取向模拟等；
发光器件载流子特性分析系统
简介：发光器件（OLED及钙钛矿LED器件）载流子特性分析，包括载流子迁移率，I-V-L特性测量分析，启动电压测量等。
桌面型原子层沉积系统
简介：AT 系列ALD System 是一款小尺寸桌面型的原子层沉积系统，采用全新的设计理念、便捷的控制系统和丰富的成膜Recipes，为广大科研工作者提供了最优化的成膜系统。
太阳能电池IV测量技术
简介：提供太阳能电池IV特性测量，包括基本光电特性转换效率、短路电流、开路电压、最大功率、填充因子等、正反扫描功能、重复性扫描功能、稳态恒电压扫描功能、MPPT最大功率点追踪测试功能等；
OLED及钙钛矿LED发光器件性能评估技术
简介：完善的OLED及钙钛矿LED发光器件性能评估技术，包含载流子特性分析系统，发光器件寿命测量系统，器件发光光谱特性分析系统，寿命分析系统及器件模拟和构建系统等；
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