资料摘要
资料下载利用等离子增强原子层沉积系统PEALD来沉积（Ge2Sb2Te5）GST薄膜，The application of plasma power was essential in obtaining a high growth rate and stoichiometric GST thin films. The chemical composition of the films was properly controlled by the cycling ratio and sequence of each precursor pulse. The stoichiometric films grown at 200°C showed a smooth surface morphology, highest density, and lowest impurity concentration.
OLED及钙钛矿LED器件发射光谱特性测量技术
简介：OLED及钙钛矿LED器件发射光谱特性测量技术，可有效测量发光效率EQE测量，Lm/W 和 Cd/A，发射角度测量，光谱&颜色测量@发射角；CIE xyY测量，视角测量，IVL(电流—电压—亮度)测量，PL光致发光和EL电致发光测量， 分子取向模拟等；
发光器件载流子特性分析系统
简介：发光器件（OLED及钙钛矿LED器件）载流子特性分析，包括载流子迁移率，I-V-L特性测量分析，启动电压测量等。
桌面型原子层沉积系统
简介：AT 系列ALD System 是一款小尺寸桌面型的原子层沉积系统，采用全新的设计理念、便捷的控制系统和丰富的成膜Recipes，为广大科研工作者提供了最优化的成膜系统。
太阳能电池IV测量技术
简介：提供太阳能电池IV特性测量，包括基本光电特性转换效率、短路电流、开路电压、最大功率、填充因子等、正反扫描功能、重复性扫描功能、稳态恒电压扫描功能、MPPT最大功率点追踪测试功能等；
OLED及钙钛矿LED发光器件性能评估技术
简介：完善的OLED及钙钛矿LED发光器件性能评估技术，包含载流子特性分析系统，发光器件寿命测量系统，器件发光光谱特性分析系统，寿命分析系统及器件模拟和构建系统等；
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