超灵敏泄漏实验/放出气体测定装置

北京创元冠国际科技有限公司(原滨州创元设备机械制造有限公司)

2012/10/31 15:38
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特长

可通过对MEMS,红外线传感器等装置进行超灵敏泄漏实验以及半导体装置动作时产生的放出气体的趋势测量，实现设备装置的性能评价。



规格：
排气系统 300L/sec.磁悬浮TMP
50 L/sec.TMP(两段),SP
到达压力 5×10-9～10-1Pa以下

分析仪：超微量气体放出四重极质量分析仪TULO-RGA101
　　　　 （真空实验室公司产品）
最小检出分压感度 1×10-12Pa
质量分析范围 1～100amu
(使用扩展选项可达200 or 300)
全压测定范围 10-9Pa～10-1Pa
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