研究开发用小型分子束外延（MBE）装置

北京创元冠国际科技有限公司(原滨州创元设备机械制造有限公司)

2012/10/31 16:02
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适用于半导体薄膜生长，太阳能电池用薄膜生长的研究开发领域。
利用超高真空技术，为用户的薄膜生长提供最优越的环境。
进样室搭载磁悬浮型分子泵以及滚动泵，可以在不破坏真空环境
的条件下实现衬底的传送。
提供丰富可组件选择，可根据研究开发的要求自由搭配组合，实
现高精度原位分析的小型MBE系统

规格

生长室(极高真空对应脱气处理)

蒸发源端口 8 端口
衬底尺寸 ～3inch (付衬底旋转功能)
*衬底加热/冷却可选功能
生长室到达真空度 10-9Pa级
生长室排气系统 付离子泵 /分子泵
*液氮屏蔽罩可选功能

 

 

 

 


传样室（小巧角形腔体）

衬底传送 超高真空传送装置
传样室排气系统 300l/s 磁悬浮型分子泵/滚动泵
样 蒸发源 （可选组件）
努森池蒸发源 (高温源/SUMO源/阀式裂解源)
电子束蒸发源
离子源
  原位解析 (可选组件)
RHEED装置 + kSA400解析系统
高精度实时温度监控系统 BandiT
原位薄膜应力计 MOS
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