EB蒸镀装置

北京创元冠国际科技有限公司(原滨州创元设备机械制造有限公司)

2012/10/31 16:05
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698MNK



搭载两台5口/ 10kW电子枪，可一次填充十种不同材料。
可扩展样品停留和分析室。



生长室
腔体 φ650×800 水冷管 / 铠装加热器
蒸发源 15cc 5发 / 10kW 电子枪 2台
电子枪电源 15kW
样品操纵器 3轴操纵器 (X, Y, Z)
衬底加热 光加热机构 400℃
排気系 分子泵 3300l/sec，机械泵 2000l/min

传样室
传输机构

磁性传输装置 /舱口付0型密封圈
排气系统 分子泵 200l/sec，滚动泵



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