真空窗用防污染遮板 (Viewport Shutter) AVS系列

北京创元冠国际科技有限公司(原滨州创元设备机械制造有限公司)

2012/11/18 10:33
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真空窗用防污染挡板 AVS 真空窗用防污染挡板 AVS


1.真空窗污染防止
2.遮板的开闭位置可自由调整
 
型 号 A连接法兰 B 内径 (mm) C (mm) D (mm) E (mm) F (mm) G (mm) 适用管内径 (mm) 开闭角度 重量 (kg)
AVS-275 ICF70-FH φ39 25 144 26.5 19 13 φ37 90° 0.9
AVS-4 ICF114-FH φ65 18 171.5 53.6 45.5 23 φ63 1.3
AVS-6 ICF152-FH φ102 20 191.5 93 65 25 φ100 1.8
AVS-8 ICF203-FH φ155 22 211.5 125 116 52 φ147 2.6
真空漏率
≦1.33×10-11Pa/m3/sec
驱动方式
磁耦合动力
烘烤温度
≦200℃
开闭角度
≦90°
※ 须与真空窗配套使用
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