真空反射屏防污染遮板 (Screen Shutter) ASS系列

真空反射屏防污染挡板 ASS 真空反射屏防污染挡板 ASS


1.适用于RHEED
2.反射屏污染防止,提高RHEED利用率
 

 
型 号 A连接法兰 B 内径 (mm) C (mm) D (mm) E (mm) F (mm) G (mm) 适用管内径 开闭角度 重量 (kg)
ASS-6 ICF152-FH 98 30 191.5 86 65.8 25 φ110 90° 2.7
ASS-8 ICF203-FH 148 198.5 119 117.5 52.5 φ159 3.4
真空漏率
≦1.33×10-11Pa/m3/sec
驱动方式
磁耦合动力
烘烤温度
≦200℃
开闭角度
≦90°
荧光材
绿色发光体
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