四探针具有6个连接通道的cartridge型（CDE）

参考价：¥5万 - 10万

型号：	cartridge
产地：	英国
品牌：	jandel
评分：

核心参数

自动化度：手动

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产品详情

四探针探针头

Jandel公司生产的具有6个连接通道的cartridge型四探针探头.其创意设计是与CDE系统相兼容.

所有jandel公司生产的探头具有非常高的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪来验证规范探针半径曲率、间距以及平面性（平面度/平整度）, 其负荷是通过电子测力计来验证。并且每个探针都通过带有宝石导向针进行上下移动。

虽然该探头与KLA/ Tencor /Prometrix公司制造的工具的探头非常的相似，但是这俩个探头之间并不能替换,且要小心的保护它们,尤其是当俩个系统同时使用时.CDE兼容的探头有一个独特的黑色物镜转换器。

探针间距	0.500mm,0.635mm, 1.00mm, 1.27mm, 1.591mm (针与针之间)
公差	±10μm
排列	线性或者矩形排列
探针头	碳化钨/直径d=0.4mm（直径d=0.3mm可用于近间距密植距）
针头材质选择	可建议选用50%的锇合金材质
针尖半径曲率	12.5, 25, 40, 100, 150, 200, 300, 500 μm
缓冲区	0.5mm
平面度	≥ ±0.025（或更好）
针尖压力	10g~250g
漏电	当电压500V时，其两针之间的其电阻为10¹³Ω

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