椭圆偏光膜厚测试仪(自动)

椭圆偏光膜厚测试仪(自动)

参考价:面议
型号: //
产地: 日本
品牌: 半球
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产品详情

产品特点:                                                           

椭圆偏振术测量紫外光到可见光波长椭圆参数。

0.1nm以上奈米级光学薄膜厚度测量。

400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱。

可自由变换反射测量角度,得到更详细的薄膜解析数据。

非线性最小平方法解析多层膜、光学常数。


产品规格:                                                            

膜厚测量范围0.1nm~
波长测量范围250~800nm(可选择3501000nm
感光元件光电二极管阵列512ch(电子制冷)
入射/反射角度范围45~90o
电源规格AC1500VA(全自动型)
尺寸1300H×900D×1750Wmm
重量约350kg(全自动型)

 应用范围:                                                            

■半导体晶圆
?电晶体闸极(Gate)氧化薄膜、氮化膜,电极材料等
?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
?光阻剂光学常数(波长色散)
■化合物半导体
?AlxGa (1-x) As多层膜、非结晶矽
■平面显示器
?配向膜
?电浆显示器用ITO、MgO等
■新材料
?类钻碳薄膜(DLC膜)、超传导性薄膜、磁头薄膜
■光学薄膜
?TiO 2、SiO 2、多层膜、抗反射膜、反射膜
■平版印刷领域
?g线(436nm)、h线(405nm)、i线(365nm)、KrF(248nm)等于各波长的n、k值评价

 

 应用范例:                                                            

非线性最小平方法比对NIST标准样品(SiO 2)膜厚精度确认


上海瞬渺光电技术有限公司为您提供半球椭圆偏光膜厚测试仪(自动)//,半球//产地为日本,属于其他,除了椭圆偏光膜厚测试仪(自动)的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多其他,瞬渺客服电话,售前、售后均可联系。

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