膜厚测量仪

膜厚测量仪

参考价：面议
型号： -
产地： 日本
品牌： 半球
评分：
上海瞬渺光电技术有限公司
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产品详情

产品特点：                                                           

? 薄膜到厚膜的测量范围、UV～NIR光谱分析。

? 高性能的低价光学薄膜测量仪。

? 藉由绝对反射率光谱分析膜厚。

? 完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能。

? 无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手。

? 非线性最小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)。


产品规格：                                                            

型号FE-300VFE-300UVFE-300NIR
对应膜厚标准型薄膜型厚膜型超厚膜型
样品尺寸最大8寸晶圆（厚度5mm）
膜厚范围100nm~40μm10nm~20μm3μm~30μm15μm~1.5mm
波长范围450nm~780nm300nm~800nm900nm~1600nm1470nm~1600nm
膜厚精度±0.2nm以内±0.2nm以内--
重复再现性(2σ)0.1nm以内0.1nm以内--
测量时间0.1s～10s以内
测量口径约Φ3mm
光源卤素灯UV用D2灯卤素灯卤素灯
通讯界面USB
尺寸重量280（W）×570（D）×350（H）mm，约24kg
软件功能
标准功能波峰波谷解析、FFT解析、最适化法解析、最小二乘法解析
选配功能材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析

 应用范围：                                                            

? 半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2等)

? 光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)


应用范例：                                                            

? PET基板上的DLC膜

? Si基板上的SiNx

 

上海瞬渺光电技术有限公司为您提供半球膜厚测量仪-，半球-产地为日本，属于其他，除了膜厚测量仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他,瞬渺客服电话，售前、售后均可联系。

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